半導體應用 | 特瑞堡密封系统

最佳解決方案

特瑞堡密封系統與半導體客戶共同開發的合作夥伴關係。我們可以通過廣泛的材料和密封件類型找到特定應用的最佳密封解決方案

探索解決方案

最新的半導體工藝越來越具有挑戰性。為了滿足這些需求,開發了以下列出的創新密封解決方案

CVD 設備的使用壽命更長

密封問題:

CVD 設備的用戶需要高質量的密封產品。高真空應用通常存在非常苛刻的化學或熱環境,因此需要超潔淨密封件以防止污染。

我們的客戶一直在尋求改進其產品,因此他們在現有應用中嘗試了 Isolast® J9670 材料的O型圈密封件。

解決方案:

O型環 (O-Rings) 由 Isolast® J9670 製造。這種專有的全氟彈性體化合物是 Isolast® Fab Range™ 之一,專為半導體應用而設計。它的設計工作溫度高達 315°C / 599°F,幾乎對所有化學品都具有出色的耐受性。

結果:

在各種等離子氣體中對 Isolast® J9670 進行了六個月的測試後,密封件中沒有裂縫。特別是,密封件比以前的密封件更耐 SF6 等離子氣體。這意味著 Isolast® J9670 具有更長的使用壽命

在過去的兩年半中,客戶已將 Isolast® J9670 密封件應用到其設備中

維持等離子體的真空

密封問題:

The task was to seal a rotary feed-through that went into a process chamber. A vacuum of 500 Torr needed to be maintained along with a tight seal to contain reactive plasma gases. The chamber was in continuous use for one hour with a five minute shut-down each hour.
任務是密封件進入處理室的旋轉導入。 需要保持 500 Torr 的真空以及完全密封以容納活性等離子氣體。該應用連續使用一小時,每小時關閉五分鐘。

解決方案:

Turcon® Variseal® CM 帶有 Turcon® T78 外殼中負載的 Hastelloy® 彈簧以及產品

結果:

Turcon® Variseal® CM 能夠在間歇性使用期間保持所需的真空,並可暴露在等離子氣體中。

環境條件:

  • 真空
  • 121°C / 250°F
  • 5 ~ 7 rpm
  • 氣體

用於電動CVD馬達的旋轉密封件

密封問題:

任務是用化學惰性介質無污染壽命長的密封件替換現有的橡膠唇形密封件。這必須改裝到現有設備中。

解決方案:

Turcon® Varilip® PDR 採用 Turcon® T78, 具有低排氣的 FKM O型環 (O-Ring) 作為密封件的出力者。

結果:

The Turcon® T78 材料可有效抵抗嚴苛氣體,並延長馬達的使用壽命

環境條件:

  • 0 psi
  • 室溫
  • 5.41 m/s (17.7 ft/s)
  • 氮氣

通過嚴格的洩漏測試

密封問題:

這樣的輕氣體尤其難以密封,因為它們甚至能夠透過表面的波谷中洩漏。

結合高真空,這種應用非常困難,要求密封件通過嚴格的洩漏測試。而且,密封溝槽必須抓住密封件,以便它可以從石英上抬起而不會使密封件脫落。

解決方案:客製 Turcon® Variseal® MF 帶有 Turcon® T01 外殼和兩個內嵌的重載V型彈簧。

結果:

如上圖所示夾緊密封件不僅將其保持在溝槽內,而且還消除了一個洩漏路徑。內嵌的V型彈簧在密封外殼上提供了所需的負載,以滿足嚴格的洩漏要求

環境條件:

  • 3.6 x 10-6 torr
  • -73°C 至100°C (-100°F 至 212°F)
  • 靜態
  • 氦氣

產品:

Variseal® MF V-spring-energized face seal

Isolast® 有助於減少維護時間

密封問題:

作為製造工藝的一部分,在膜沉積的每個處理步驟之後,乾燥的“strip”系統從晶片上去除光致抗蝕劑和殘留物。

為此,晶片在高溫下暴露於氣態氧等離子體。 這導致系統內的密封件迅速惡化,通過頻繁的更換密封件而中斷生產。

解決方案:

Isolast® Fab Range™ J9670 製造的 O-Rings 專為高溫等離子環境而設計,取代了現有的密封件

結果:

延長了維護週期,在密封件更換之間將產量從 15,000-20,000 增加到 50,000 多個晶圓。 這滿足了晶圓廠製造商的目標,即增加計劃維護之間的平均時間,提高整體產量並降低成本。

Isolast® 降低了成本

密封問題:

晶圓探針卡的主要製造商在其生產過程中使用等離子蝕刻設備,並且密封件暴露於要求苛刻的等離子體和清潔劑中

安裝在等離子蝕刻設備中的O型環定期更換,作為預防性維護。客戶希望通過延長計劃維護之間的提前期來降低擁有成本

解決方案:

由 Isolast® Fab Range™ J9670 製造的 O-Rings 專為高溫等離子環境而設計,取代了現有的密封件。

結果:

由 Isolast® FabRange™ J9670 製造的O形圈證明可延長密封壽命。這意味著可以延長計劃維護之間的交付時間,並達成降低擁有成本的目標。

消除洩漏

密封問題:

本申請中的密封件需要通過兩次洩漏測試 - 氦氣洩漏不能超過10毫升/秒,並且在密封水時,密封件必須是無洩漏的。並且還需要低摩擦。

解決方案:

法蘭

結果:

在此應用中,法蘭式的 Turcon® Variseal® FW 用於有效消除外徑的洩漏,而中彈簧提供正確的負載,以實現摩擦和密封性之間的平衡

環境條件:

  • 0 至 0,6 MPa (0 to 90 psi)
  • 52°C 至 200°C (125°F 至 392°F)
  • 0.4 rpm
  • 0.05 m/s (0.16 ft/s)
  • 氫氣、水、氯化氫

產品:

Turcon® Variseal® W Slantcoil-energized rod seal

Turcon® Variseal® FW Slantcoil-energized flange seal