半導體材料 | 特瑞堡密封系统

高性能密封科技

我們廣泛的創新密封材料有助於我們提供卓越的密封完整性。任何尺寸的O型圈(標準型或客製型)都可訂製模壓密封件設計與其他產品結合使用 - 材料範圍從基本彈性體等級到先進、高規格化合物,一些專門為半導體設備而開發。這些創新的密封材料通過延長密封壽命有助於減少停機時間提高生產效率

要為您的應用選擇最佳材料,請使用我們的線上工具

  • 材料搜尋工具 您可以挑選出符合特定屬性要求的化合物以及符合特定認證或標準的化合物。
  • 化學相容性檢查工具 讓您查詢材料與各種介質配對(包括流體或氣體,包括半導體製造中使用的介質)。

氟化橡膠(FKM) 密封材料

氟化橡膠(FKM)密封件是半導體下游廠商應用的理想選擇,如真空泵和溫度不超過 220°C/428°F 的濕式加工應用。

我們的 FKM 密封材料具有出色的耐半導體工業中廣泛使用的化學品的能力,同時為半導體真空應用提供高純度、低滲透和排氣功能。

產品:

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  • 材料搜尋工具 可以查詢符合特定屬性要求的化合物以及符合特定認證或標準的化合物。
  • 化學相容性檢查工具 讓您查尋材料與各種介質的配對(包括流體或氣體,包括半導體製造中使用的介質)。

Isolast® Fab Range™

Isolast® Fab Range™ 提供極致的彈性體密封。

這些高性能全氟彈性體(FFKM)幾乎是惰性的,在溫度連續高達 325°C/617°F 的條件下運行時,幾乎與所有化學品相容

 

 

產業專用密封件

Isolast® J9610 適用於濕式加工應用 - 最高水平的耐化學性。

  • Isolast® J9610 適用於濕法工藝應用 - 最高水平的耐化學性。
  • Isolast® J9650 用於高溫晶圓加工應用 - 超高純度。
  • Isolast® J9675 用於乾/等 離子晶圓工藝 - 出色的耐化學性和最小的顆粒化。

The Isolast® Fab Range™ 密封材料有標準和非標準O型圈、工程模壓件設計或與金屬黏合密封組件。密封件在潔淨室環境中製造和包裝。

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Resifluor™ 500 增加了靈活性

Resifluor™ 500系列包括優質 FKM 密封材料和改性聚合物結構。Resifluor™ 500 化合物經過精心設計,可將 EPDM 的耐化學性與極性流體、鹼和酸結合,並具有 FKM 密封材料在各種要求嚴格的流體中的性能特徵。

密封件具有出色的抗性

Resifluor™ 500 密封系列具有出色的抗大量化學品和液體侵蝕能力。它具有低的總有機碳和類似於 PTFE 的金屬萃取物,提供卓越的清潔度

有關Resifluor™ 密封材料的更多資訊,請

聯絡特瑞堡台灣

產品

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獨有的 Turcon® 化合物

Turcon® 是特瑞堡密封系統專有以 PTFE 為基底的密封材料系列的名稱。

聚四氟乙烯(PTFE)幾乎與所有化學品相容,因此非常適用於密封件可能暴露在苛刻介質中的設備。通過添加填料和特殊加工技術實現特定的操作性能。

動態和旋轉密封元件

Turcon® 密封材料:

  • 具有優異的摩擦和自潤滑特性
  • 適用於動態和旋轉應用

世界上最大的 PTFE 密封件製造商

特瑞堡密封系統是世界上最大的這類材料密封件製造商,沒有其他密封件供應商可以提供如此廣泛的產品。所有的產品都是在我們位於歐洲、美國、南美和亞洲的工廠生產的。

產品:

Turcon® 密封材料採用多種不同的密封幾何形狀製造。下面列出的是半導體行業中最常用的密封類型:

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先進的工程熱塑性材料

高性能工程熱塑性材料為 PEEK™(聚醚醚酮)聚酰亞胺等材料提供了新型密封解決方案。它們可承受高工作溫度,且具有良好的化學性等離子電阻靜電控制低排氣性

從軸承到空氣泵

HiMod® 耐磨環

以及

軸承

已經證明在許多需要出色尺寸穩定性低顆粒脫落的半導體應用中是成功的。

專業的 Turcon® PTFE 基底元件包括空氣泵。它們為橡膠接頭提供高純度和化學兼容性的選擇

有關工程熱塑性密封解決方案的更多資訊,請聯繫特瑞堡台灣

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