半導體產品 | 特瑞堡密封系统

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創新工程密封件選擇


基於多年密封方案設計經驗,特瑞堡密封系統可以從廣泛的創新密封產品中推薦最佳解決方案,其中許多產品專為滿足半導體行業日益嚴苛的工況而設計。

充氣密封件 (Airseal)

Airseals是由管狀彈性體製成的可充氣密封件,通過內部加壓激活。它們非常適用於裝載鎖和檢修門,包括潔淨室門,它們取代了傳統的平墊圈和O-Ring,在這些專業應用中提高了完整性。

 

有關 Airseal 充氣式密封件的更多資訊,請聯繫特瑞堡台灣

華司油封 (Bonded Seal)

特瑞堡密封系統可以有效地將 FKM 和 Isolast® 和不同材料,如不銹鋼和低碳鋼、鋁、黃銅和各種塑料等製作成組合式密封件。

經濟且有效地最大化密封系統的完整性

華司油封的優點是:

  • 將密封件的完整性最大化
  • 減少凹槽空隙的汙染
  • 方便安裝
  • 減少庫存
  • 高性價比

有關這些解決方案的更多消息,請聯繫特瑞堡台灣

 

FlexiMold

憑藉專有的 FlexiMold™ 技術,特瑞堡密封系統可以生產高精度、大直徑的O形圈和其他密封型材。FlexiMold™ 巨型密封件的質量遠優於那些通過拼接密封件或由擠壓線圈製成的密封件。

最大限度地縮短了交貨時間和降低工具成本
密封件展示了模塑產品的視覺和尺寸完整性無需專用工具即可生產,靈活的生產方式最大程度地縮短了交貨時間和成本。

 

各種彈性體製成的大型密封件


推薦用於超過500 mm / 20英寸的O形圈和其他密封型材。

  • 符合 ISO 3601-1、AS568 和 JIS B 2401 標準,可生產幾乎無限大的直徑
  • 如果 O-Rings 具有標準截面,则無須模具費
  • 可以提供更大和特殊的截面密封件。
  • 提供多種彈性體材料,包括 Isolast® FFKM、Resifluor™ 高品質氟化彈性體、FKM、EPDM 和 HNBR。
  • 密封件生產採用:“零”缺陷品質要求、單獨包裝和單獨標籤。
  • 提供 Class 100 潔淨室清洗和包装,以及快遞服務。

大型 O-Rings 和密封件主要用於半導體產業中的平板顯示器生產。

有關 FlexiMold™ 大型密封件的更多消息,請聯繫特瑞堡台灣

O型圈 (O-Rings)

特瑞堡密封系統提供各種 O-Rings,可在成本效益和性能之間取得平衡。並可提供任何尺寸的 O-Rings(標準件或客製產品),包括使用 Fleximold™ 技術的大尺寸O-Rings。

擁有廣泛的密封材料選擇

從基本彈性體到專為各產業開發的先進化合物。

推薦材料

請點擊以下連結查看更多關於 O-Rings 和 Fleximold™ 的消息

Turcon® Varilip® PDR

Turcon® Varilip® PDR(高性能、耐久、可靠性)旋轉軸密封件一個或多個 Turcon® PTFE 基材密封元件構成,這些密封元件多半安裝在精密機械機台中。

Turcon® 密封件在軸上提供動態密封性,而金屬殼可為溝槽提供強健的靜態密封,並且保證在高轉速情況下的有效運行


較低的摩擦力可降低能量耗損

該密封件具有低摩擦和無黏滑運行的特點,可降低熱能的產生,並允許更高的轉速並降低耗損。測試結果表明,在 Fomblin®潤滑油(通常用於半導體真空泵)中運行時,Turcon® Varilip® PDR 比徑向油封的扭矩低50%左右。這樣可以延長使用壽命,並最大限度地延長維護計畫和提高生產率之間的平均時間。


Turcon® Varilip® PDR 密封件的優點包括:

Turcon® PTFE 基材密封唇

•低摩擦:有助於降低功率損耗和摩擦引起的熱量
獨特的自潤滑流體特性可進一步减少摩擦
•先進的幾何形狀設計可幾乎在所有高速旋轉情況下提供出色的性能
•多唇設計:
滿足大多數密封需求
•幾乎與所有介質相容
•符合 FDA 標準

金屬殼體

耐用於惡劣環境
•有效的
靜態外徑密封
•耐熱循環
•可選擇高品質金屬:
包括不鏽鋼、鋁和其他特殊金屬,如 Hastelloy® 或 Titanium
•高耐腐蝕性
卓越的精密加工表面:可改善靜態時的密封性

整體 Turcon® Varilip® PDR 密封件

•有助於降低設備的功耗
•高轉速:可達 100 m/s、19,680 ft/min
工作溫度範圍:-60°C 至 200°C、-76°F 至 392°F
•可用於乾運轉和軟軸
徑向油封溝槽的改造
無限保存期限,且並無特殊存放環境要求

Turcon® Variseal®

經過驗證,在極端氣體和液體處理情況,Variseal® 彈簧增強型 Turcon® PTFE 密封件已用於要求最苛刻的半導體密封應用,包括高真空和腐蝕性環境。

高品質的系統完整性

透過正確的選擇PTFE,填充PTFE化合物和合適的彈簧材料和型材,Turcon® Variseal® 可提供最高水平的系統完整性

對於靜態和動態應用,Turcon® Variseal® 具有低摩擦特性,可延長使用壽命

Turcon® Variseal® NW

此法蘭密封件的 Turcon® 外殼內含有彈簧,確保系統間的介質不可能洩漏。半導體應用的理想選擇,它可以在真空中運行,並在氟氣中得到驗證。

Turcon® Variseal® NW 密封件的特點:

  • 可在 -253°C/-423°F 至 260°C/500°F 的極端溫度下運行
  • 真空能力為 10-9 mbar / l / s
  • 出色的耐磨性和摩擦性
  • 幾乎適用於所有介質氣體,包括高溫氟氣
  • 提供客製尺寸標準尺寸,可輕鬆改造現有的NW彈性體密封件

Turcon® Variseal® PS

這種高性能密封件採用 Turcon® PTFE 基底密封體設計,並含有聚合物彈簧。彈簧設計能在低壓下確實密封,同時藉由系統介質壓力保持高壓時的密封完整性。Turcon® Variseal® PS™ 具有超低浸出雜質,符合 SEMI 標準 F57-0301 和最小的排氣性,是半導體濕式加工的理想選擇。

Turcon® Variseal® PS™ 密封件的特點:

  • 超低析出率、無排氣
  • 熱穩定性從 -253°C/-423°F 到 80°C/176°F
  • 每毫米密封周長的真空密封 5.3 x 10-8 mbar / l / s-1(4.7 x 10-8 psi / in3 / s-1)
  • 出色的耐磨性
  • 幾乎與所有化學品相容
  • 提供標準客製密封設計

Turcon® Variseal® Ultra Clean

This Turcon® Variseal® Ultra-Clean™ seal offers the ultimate in cleanliness, making it ideal for use in processing equipment where maintaining an ultra-clean system is a priority. In the unique design of Turcon® Variseal® Ultra-Clean™, the spring required to activate the seal is fully enclosed within a Turcon® case. This means, in semiconductor fabrication, where the minutest contamination can destroy the effectiveness of wafers, metal extractables are totally excluded.
Turcon® Variseal® Ultra-Clean™ 密封件具有極佳的潔淨度,是加工設備的理想選擇,在這些設備中,優先保持超淨系統。在Turcon® Variseal® Ultra-Clean™ 的獨特設計中,激活密封所需的彈簧完全封閉在 Turcon® 外殼內。這意味著,在半導體製造中,完全排除金屬可能會破壞晶片的可能性。

Turcon® Variseal® Ultra-Clean™ 密封件的特點:

  • 可在 -253°C/-423°F 至 260°C/500°F 的極端溫度下運行
  • 可承受超過 100 bar/1450 psi 的高壓
  • 出色的耐磨性
  • 幾乎與所有介質相容
  • 適用於活塞活塞桿旋轉往覆靜止密封
  • 安裝在 AS-568 O-Rings 和 Variseal® 的溝槽內

V型環 (V-Ring®)

V-Ring® 是一種獨特的旋轉軸橡膠密封件,可提供完美的解決方案,防止介質進入,包括污垢、灰塵和水,同時保留潤滑劑。 典型應用是化學機械拋光或晶圓切割設備,其速度可達12 m/s 或 39 ft/s。

推薦的密封材料:

點擊此處查看有關 旋轉密封件 和 V-Rings 的更多信息。

Wills Rings®

WillsRings® 是一金屬密封件,設計用於超出聚合物密封能力的極端條件下。

在最苛刻的條件下證明
操作溫度從 低溫至 850°C/1562°F, 並可承受壓力從真空到 1000 MPa/145038 psi/10000 bar. 它們是連接器、法蘭和板的靜態密封的理想選擇。

有各種截面和金屬型式可供選擇
Wills Rings® 有多種金屬可供選擇,包含 O 型截面 或 C 型截面可通過壓力填充或系統壓力來確保密封性。

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